OLED有机无机联合蒸发系统介绍

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OLED有机无机联合蒸发系统的用途 ：

适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等，可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作，也可用于大批量生产前的试验工作。技术指标：极限真空≤610-4Pa，工作压力≤2*10-3Pa。与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域

小方分子提纯设备单室有机无机热蒸发镀膜机公司

小方分子提纯设备　　

主要用途：　　

用来生长有机材料提纯的研究工作。　　

系统组成:　　该类设备为单室结构。　　

技术指标：　　

极限真空≤610-4Pa，工作压力≤2*10-3Pa；　　

系统漏率≤6.7×10-7PaL/s。　　

镀膜室：腔室尺寸约为Φ50×350mm，石英材料，圆柱形结构。　　

抽气系统：采用分子泵+机械泵抽气系统；　　

样品可加热，加热温度为：200-600℃；

可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统　　

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派瑞林镀膜的作用

涂层派瑞林（Parylene），Parylene提供了惰性、生物相容的隔离层，可有效隔离外界的化学品、水分和体液的侵蚀；同时增加了表面的干润滑性，Parylene具有佳的生物相容性，NC材两者均列入FDA及美国药典（USP）第VI级材料；派瑞林镀膜加工的优势派瑞林它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称'无孔不入'可深入裂缝里和内表面，被业内称为当今世界首级的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。Parylene在以下器件中已获得成功的应用：丁基胶瓶塞，压力传感器,心脏起博器、假肢、骨钉、电路板、各类导管、斯坦特固定膜、超声换能器、骨骼生长促进器、脑部电极、针头、进饲管、人造耳蜗、导尿管及其金属线、腹窥镜器材等．

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多源蒸发系统技术指标介绍

有机蒸发室：经烘烤6小时左右，并连续抽气真空优于8.0×10 Pa　　

无机蒸发室：经烘烤6小时左右，并连续抽气真空优于6.6×10 Pa　　

蒸发室：方形真空室，尺寸：450×400×350mm　　

恢复真空时间：40分钟可达6.6×10 Pa（短时间暴露大气并充干燥氮气后开始抽气）　　

样品尺寸：50×50mm 或100×100mm　　

设有掩膜板和掩膜库金属材料/氧化物生长室可放置1-4个热阻蒸发舟和一个掩膜库有机材料生长室可放置1-8个高温或低温束源炉

石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统，可选手套箱。

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